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企业名称:宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司
技术需求名称:太阳能级单晶硅生长用40英寸石英坩埚关键技术开发
需求背景:目前单晶硅棒拉制量产石英坩埚最大尺寸为37英寸、单炉投料量最高可达3300kg,寿命仅为450小时,无法满足市场对单晶硅拉制降本增效的需求。40英寸太阳能级石英坩埚制造技术亟需攻克。
需解决的技术问题:
1.针对40英寸大尺寸石英坩埚生产中石英砂原料、石英熔化和成型过程控制,控制产品的杂质、应力、裂纹,提高坩埚的强度,进而提升石英坩埚的使用寿命。
2.开发对应生产石英坩埚的水冷套、石墨模具、内外成型棒等配套辅材,调整电流、电压、电极直径和电极位置、石英砂重量等关键参数,生产出满足市场需求的大尺寸石英坩埚。
拟实现的主要技术目标:
1.单晶硅单炉投料量≧3300kg。
2.石英坩埚外径达到1016±3mm;圆度偏差2mm;直壁壁厚偏差±2mm;高度700±2mm。
3.石英坩埚内层纯度:13种杂质(Ca、Na、K、Fe、Al、Li、Mn、Cu、Ti、Co、Cr、Mg、Ni)元素之和不大于30μg/g;Li、Na、K三种元素之和不大于4.0μg/g。
4.坩埚内表面微气泡(0.5mm≤φ≤1mm的)总数量≤50个。
5.使用寿命≥500h。
计划投资总额:1200万元
联系人:熊欢
联系方式:18795196059
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